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硅片甩干机维护事项

时间: 2019-01-28 10:41:41   点击:
硅片甩干机维护事项1、按下屏幕右方的OPEN键,使甩干机上盖打开
2、切断设备的电源
3、用14#扳手把甩盘卸下
4、用无尘纸清理腔内碎片
5、用百洁布将甩盘下及周围的锈迹清理干净
6、用无尘纸沾用酒精将腔内、甩盘及周边清理干净
7、用14#扳手将甩盘装到设备上
8、检查排废管道是否漏液,如漏液需上紧接头或更换管道
9、水管道是否漏水,如果是请重新上紧或更换水管
10、检查氮气压力是否保持在0.4-0.6MPA
11、检查控制面板上的各种操作按钮,如有损坏及时更换
12、检查及清洁电气原器件,避免造成漏电及局部短路,接触不良
13、保证设备可靠接地
14、整理现场
15、对设备通电,试机


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