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时间: 2019-02-20 15:05:32   点击:
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  一、优游平台注册拆箱,从箱中取出来,优游平台注册以及配套的说明书,导气管等附件;

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  1、依次接上真空泵的导气管、废液接收罐、废液接收罐上方是排废气的软管。

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  2、充氮N2/干燥气体CDA的连接,一般这个细管(如上图4所示,口径为6mm)需要接到氮气瓶或者实

  验室已有的氮气接口。

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  3、氮气瓶的接口如下图所示,这种接口是箍橡皮管,需要换成找转接头接上优游平台注册的6mm的白色塑料管。

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  4、充氮气或者干燥空气的压力需要60~70 PSI

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  5、按“START”键启动程序,直到完成;

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  6、依次关闭真空泵、氮气和优游平台注册开关;

  END

  注意事项

  注意事项,防止胶水进入Chuck的孔中、氮气压不可过大(细调到NEED CDA消失即可)、片子尺寸较大时旋转速度不能太快(以防飞片)等注意事项:在操作该设备时,请根据指示,勿将试剂、溶液、粉状物等异物吸入承载基片下的真空通道,保持基片底座和真空通道周边部位清洁、干燥。

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